特集

オングストロームサイエンス社製スパッタカソード修理

2022/07/12

弊社では米国Angstrom Science社スパッタカソードを輸入販売しておりますが、販売だけではなく各種修理も行っております。

冷却水漏れ、電極材の断線、マグネトロン磁場低下による成膜レート低下や成膜分布悪化、長期間の使用でカソードボディにエロージョンが生じたなどほぼ全ての修理が可能です。使えなくなって放置してあるカソードが御座いましたら一度ご相談ください。現物確認を行った後に修理見積を提出させて頂きます。

マグネット交換前と後
 

カソード交換前と後
 

カソードASSY
 

 

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