LIST OF COMPANIES取扱装置企業一覧

ティー・ケイ・エス合同会社の装置取扱い企業様の紹介です。

Exogenesis社(アメリカ)

Exogenesis社はガスクラスター技術を更に発展させた加速中性原子ビームプロセスANAB(Accelerated Neutral Atom Beam)装置を開発致しました。
この装置は加速されたクラスタービームを分裂させて作られる中性原子を利用しナノメートルレベルの表面改質を行う設備で、利用するガス種に応じてナノエッチング、成膜並びに原子打ち込みを行う事が出来ます
このプロセスにより半導体、生体親和性膜コーティング、サブナノレベルの欠陥除去、その他各種ナノレベル表面改質を行えます。

Angstrom Science社(アメリカ)

スパッタカソードの専業メーカーで口径1インチから16インチまでの円形カソード、矩形カソード、シリンダー型カソードなどの開発製造を行っています。
特許技術であるマグネット形状によりエロージョンエリアが拡大するためマグネトロンスパッタカソードのターゲット利用効率が格段に改善され、スパッタプロセスのコスト削減に貢献します。

AVP Technology社(アメリカ)

イオンビームエッチング装置、イオンビーム成膜装置、クラスター型スパッタリング装置の製造並びに各種ビンテージ真空プロセス装置への最新制御システム組み込みなど行っています。ヘリカルコイル型ECRイオンソースを用いたイオンビーム成膜装置は高レートの高密度酸化膜形成、強磁性体成膜を可能にしました。
装置リファビッシュ事業ではエンドユーザー様からの認定製造設備に最新の制御システムを組み込み、大きな設備投資と繁雑な認定作業を受ける必要なく、既設設備の長寿命化を図かっています。

IONEX社(アメリカ)

独自設計のパルステクノロジーとカソード技術により高密度イオンスパッタリングを実現し、従来のHIPIMS技術でネックとなっている成膜レートの低下とアーキング発生問題を解決しながら、高密度なDLC膜や酸化膜の形成が行えます。

CreaPhys社(ドイツ)

独MBraun社傘下でDresden大学Karl Leo教授門下の研究者が設立した有機エレクトロニクス関連の会社であり、高効率かつ高純度の量産用昇華精製装置、有機材料用蒸着源、有機材料成膜装置、ならびに有機材料受託昇華精製事業を行っています。
特に量産用昇華精製装置は縦型の構造により、設置面積が2m2程でありながら高効率かつ高純度で最大10kgのバッチ処理が可能となっています。

FHR社(ドイツ)

独Centrotherm社傘下のPVD, PECVD並びにALD成膜技術を有する装置メーカーでカスタムメードの設備から10.5世代LCD用ガラス基板成膜設備まで豊富なラインアップを取り揃えています。
又、独Fraunhofer研究所との協力により開発した光学薄膜用スパッタ装置FHR Starは高精度のフィルター特性と低欠陥の成膜を効率よく実現する設備として光学薄膜領域で数多くご使用頂いております。