LIST OF COMPANIES取扱装置企業一覧
ティー・ケイ・エス株式会社の装置取扱い企業様の紹介です。
Neutral Physics Corporation社(アメリカ)
Neutral Physics Corporation社はガスクラスター技術を更に発展させた加速中性原子ビームプロセスANAB（Accelerated Neutral Atom Beam）装置を開発致しました。
この装置は加速されたクラスタービームを分裂させて作られる中性原子を利用しナノメートルレベルの表面改質を行う設備で、利用するガス種に応じてナノエッチング、成膜並びに原子打ち込みを行う事が出来ます。
このプロセスにより半導体、生体親和性膜コーティング、サブナノレベルの欠陥除去、その他各種ナノレベル表面改質を行えます。
Angstrom Science社（アメリカ）
スパッタカソードの専業メーカーで口径1インチから16インチまでの円形カソード、矩形カソード、シリンダー型カソードなどの開発製造を行っています。
特許技術であるマグネット形状によりエロージョンエリアが拡大するためマグネトロンスパッタカソードのターゲット利用効率が格段に改善され、スパッタプロセスのコスト削減に貢献します。
弊社では米国Angstrom Science社スパッタカソードを輸入販売しておりますが、販売だけではなく各種修理も行っております。冷却水漏れ、電極材の断線、マグネトロン磁場低下による成膜レート低下や成膜分布悪化、長期間の使用でカソードボディにエロージョンが生じたなどほぼ全ての修理が可能です。使えなくなって放置してあるカソードが御座いましたら一度ご相談ください。現物確認を行った後に修理見積を提出させて頂きます。
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AVP Technology社（アメリカ）
IBE(イオンビームエッチング装置)IBD(イオンビーム成膜装置)、クラスター型スパッタリング装置の製造並びに各種ビンテージ真空プロセス装置への最新制御システム組み込みなど行っています。ヘリカルコイル型ECRイオンソースを用いたイオンビーム成膜装置は高レートの高密度酸化膜形成、強磁性体成膜を可能にしました。
装置リファビッシュ事業ではエンドユーザー様からの認定製造設備に最新の制御システムを組み込み、大きな設備投資と繁雑な認定作業を受ける必要なく、既設設備の長寿命化を図かっています。
MBraun社（ドイツ）
2023年、独CreaPhys社は独MBraun社との経営統合より事業部門となりました。
MBraun社は全世界で研究実験設備などの製造販売を行うグローバル企業です。
統合されるCreaPhys社はMBaun社がDresden大学Karl Leo教授門下の研究者に出資し、設立したグループ企業です。
有機エレクトロニクス関連での、高効率かつ高純度の量産用昇華精製装置、有機材料用蒸着源、有機材料成膜装置の製造販売、ならびに有機材料受託昇華精製事業を行っています。
特に量産用昇華精製装置は縦型の構造により、設置面積が2m2程でありながら高効率かつ高純度で最大10kgのバッチ処理が可能となっています。
FHR社（ドイツ）
独Centrotherm Group傘下のPVD, PECVD並びにALD成膜技術を有する装置メーカーでカスタムメードの設備から10.5世代LCD用ガラス基板成膜設備まで豊富なラインアップを取り揃えています。
又、独Fraunhofer研究所との協力により開発した光学薄膜用スパッタ装置FHR Star-EOSSは高精度のフィルター特性と低欠陥の成膜を効率よく実現する設備として光学薄膜領域で数多くご使用頂いております。
KJF社（台湾）
独自技術を駆使したPVA製品を多くの分野（半導体、電子、スポーツ、食品など）に提供している会社です。
半導体・電子デバイス分野では装置メーカー各社のスクラバー用PVAブラシを提供しています。
Jian Power Technology社（台湾）
半導体中古装置、ロボット販売を中心に薬液移送ポンプオーバーホールなども自社で行う商社です。
BELT TECHNOLOGIES INC社（アメリカ）
金属ベルトは耐久性に優れ、精度が高く、その他のベルトでは利用できない能力を提供します。
BELT TECHNOLOGIES, INC.は半世紀以上、既存および新しいコンベアシステムに金属コンベアベルト、金属タイミングベルト、プーリーを製造して来ました。洗練されたテクノロジーと革新的な製造プロセスにより金属ベルト・金属タイミングベルト金属ベルトコンベアシステムに数多くのカスタム設計とコーティングをお届けしています。
BELT TECHNOLOGIES, INC.の金属ベルトは食品加工・ロボット工学・ソーラーパネル製造・医療機器製造・自動化組立ライン、その他を含む多様な産業で使用されています。
Plasma Quest Limited社（イギリス）
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加で高品位かつフレキシブルな成膜をする独自技術を持つメーカーです。グリッドレスで高密度なイオンを発生させるプラズマソースは長期間メンテナンスフリーでの運用を可能としています。高品位かつ信頼性の高いプラズマリソースは生産用装置のイオン源として装置メーカーにOEM供給も行われており、世界各国で安定稼働しております。 弊社は総販売代理店として取り扱いをスタートいたしました。