MAINTENANCE
お客様に導入頂いた製品の搬入・立上から定期メンテナンス、部品供給ならびに修理、延命化も行っています。
- 修理、延命化対応装置
- ウェット装置 SEZ4200, SEZ201, 203
- プローバー EG2001, EG4090
- イオンビームプロセス装置 VeecoIBE,IBD
また既存のイオンビームエッチング装置、イオンビームスパッタリング装置、ウェット（洗浄・エッチング）装置なども同様に保守・管理を行っています。
- 部品供給例
- 各種石英部品、シールド、チャックピンなど
- 修理実施例
- 各種電源、ロボット、ターボポンプ、磁気シール、各種ヒーター、回路基板など
- 洗浄実施例
- グリッド、シールドなど