MAINTENANCE保守・管理

保守・管理

お客様に導入頂いた製品の搬入・立上から定期メンテナンス、部品供給ならびに修理も行っています。

また既存のイオンビームエッチング装置、イオンビームスパッタリング装置、ウェット(洗浄・エッチング)装置なども同様に保守・管理を行っています。

部品供給例
各種石英部品、シールド、チャックピンなど
修理実施例
各種電源、ロボット、ターボポンプ、磁気シール、各種ヒーター、回路基板など
洗浄実施例
グリッド、シールドなど