MAINTENANCE

お客様に導入頂いた製品の搬入・立上から定期メンテナンス、部品供給ならびに修理、延命化も行っています。

修理、延命化対応装置
ウェット装置 SEZ4200, SEZ201, 203
プローバー EG2001, EG4090
イオンビームプロセス装置 VeecoIBE,IBD



また既存のイオンビームエッチング装置、イオンビームスパッタリング装置、ウェット(洗浄・エッチング)装置なども同様に保守・管理を行っています。

部品供給例
各種石英部品、シールド、チャックピンなど
修理実施例
各種電源、ロボット、ターボポンプ、磁気シール、各種ヒーター、回路基板など
洗浄実施例
グリッド、シールドなど