ティー・ケイ・エス株式会社

オングストローム・サイエンス社

1988年創業、スパッタリングカソードの専業メーカーです。
口径1インチから16インチまでの円形カソード、矩形カソード、シリンダー型カソードなどの開発製造を行っています。
磁力配置、水冷機構、円形マグネトロンカソード技術などで数々の特許を保有。卓越した技術で使いやすさと高品位な成膜を実現します。
設計、製造、検査まですべて自社で手掛けているため、市場変化や、顧客からの要求に素早く対処し、いち早く先進の製品を供給できる体制を整えています。
高機能ガラス・高機能フィルムなどの分野での評判が高く、多くの企業での導入実績があります。
また、独自の技術による特徴により、多くの装置メーカーへのOEM供給を行っています。

Profiled Magnet Technology

Profiled Magnetテクノロジーは、革新的で高効率な磁力線制御テクノロジーです。 磁力線配置の最適化により、従前のマグネトロンカソードに対して、成膜均一性が向上。ターゲット利用効率については４０％超の改善を実現した特許技術です。 Shaped Magnetテクノロジーにより、安定した製膜の実現とコストダウンの両立を実現します。

従来型マグネトロンカソード

磁力渦の範囲が狭く、ターゲットの利用効率が低い。 一部の狭範囲だけを利用するため、エロージョンの進行によるスパッタ状態の変化が発生する。

Shaped Magnet テクノロジーカソード

磁力渦の範囲が広いため、ターゲットの利用効率が高い。 ターゲットの広い面積を利用するため、エロージョンの進行によるスパッタ状態の変化が起こりにくく安定した製膜とターゲット交換のためのコストの低減を両立します。