保守・管理 | ティー・ケイ・エス株式会社

MAINTENANCE

お客様に導入頂いた製品の搬入・立上から定期メンテナンス、部品供給ならびに修理、延命化も行っています。

サーボモーターおよびドライバ修理: AC/DCサーボおよび各種モーター修理を行います。また各種モータードライバの修理も行っています。; その他、インバーターや各種電源ユニットなどの修理も行っています。; サーボモーターおよびドライバ修理の詳細はこちら
カソード修理: オングストローム・サイエンス社での正規トレーニングを受けた弊社のエンジニアが、確かな技術と品質でカソード修理を実施いたします。; 他社のカソードであっても、オングストローム・サイエンス社製の互換適合部品を用いて最新のマグネトロンカソードにアップグレードすることができる場合があります。; カソード修理の詳細はこちら
ウェット装置: SEZ　SEZ4200, SEZ201, 203
プローバー: ELECTROGLAS　EG2001, EG4090
イオンビームプロセス装置: Veeco　VeecoIBE,IBD; また既存の各社イオンビームエッチング装置、イオンビームスパッタリング装置、ウェット（洗浄・エッチング）装置なども同様に保守・管理を行っています。