MAINTENANCE

お客様に導入頂いた製品の搬入・立上から定期メンテナンス、部品供給ならびに修理、延命化も行っています。


モーター修理

各種電源、ロボット、ターボポンプ、磁気シール、各種ヒーター、回路基板、モーター修理などを行っております。

モーター修理の実績ページは現在準備中です。

実績ページに掲載のないモーターであっても、解析を行って修理の判断を行うことが可能です。

その際はお気軽にご相談ください。


カソード修理

オングストローム・サイエンス社のカソード修理も行っております。

カソード修理の実績詳細はコチラのページをご確認ください


ウェット装置

SEZ SEZ4200, SEZ201, 203

プローバー

ELECTROGLAS EG2001, EG4090

イオンビームプロセス装置

Veeco VeecoIBE,IBD


また既存の各社イオンビームエッチング装置、イオンビームスパッタリング装置、ウェット(洗浄・エッチング)装置なども同様に保守・管理を行っています。



部品供給例

各種石英部品、シールド、チャックピンなど


洗浄実施例

グリッド、シールドなど