保守・管理 | ティー・ケイ・エス株式会社

MAINTENANCE

お客様に導入頂いた製品の搬入・立上から定期メンテナンス、部品供給ならびに修理、延命化も行っています。

モーター修理: 各種電源、ロボット、ターボポンプ、磁気シール、各種ヒーター、回路基板、モーター修理などを行っております。; 実績ページに掲載のないモーターであっても、解析を行って修理の判断を行うことが可能です。; その際はお気軽にご相談ください。; モーター・ドライバー修理の実績はコチラ
カソード修理: オングストローム・サイエンス社での正規トレーニングを受けた弊社のエンジニアが、確かな技術と品質でカソード修理を実施いたします。; 他社のカソードであっても、オングストローム・サイエンス社製の互換適合部品を用いて最新のマグネトロンカソードにアップグレードすることができる場合があります。; カソード修理の実績詳細はコチラのページをご確認ください
ウェット装置: SEZ　SEZ4200, SEZ201, 203
プローバー: ELECTROGLAS　EG2001, EG4090
イオンビームプロセス装置: Veeco　VeecoIBE,IBD; また既存の各社イオンビームエッチング装置、イオンビームスパッタリング装置、ウェット（洗浄・エッチング）装置なども同様に保守・管理を行っています。