MAINTENANCE
お客様に導入頂いた製品の搬入・立上から定期メンテナンス、部品供給ならびに修理、延命化も行っています。
- モーター修理
- 各種電源、ロボット、ターボポンプ、磁気シール、各種ヒーター、回路基板、モーター修理などを行っております。
- モーター修理の実績ページは現在準備中です。
実績ページに掲載のないモーターであっても、解析を行って修理の判断を行うことが可能です。
その際はお気軽にご相談ください。 - カソード修理
- オングストローム・サイエンス社のカソード修理も行っております。
- カソード修理の実績詳細はコチラのページをご確認ください
- ウェット装置
- プローバー
- イオンビームプロセス装置
SEZ SEZ4200, SEZ201, 203
ELECTROGLAS EG2001, EG4090
Veeco VeecoIBE,IBD
また既存の各社イオンビームエッチング装置、イオンビームスパッタリング装置、ウェット(洗浄・エッチング)装置なども同様に保守・管理を行っています。
- 部品供給例
- 各種石英部品、シールド、チャックピンなど
- 洗浄実施例
- グリッド、シールドなど