MAINTENANCE

お客様に導入頂いた製品の搬入・立上から定期メンテナンス、部品供給ならびに修理、延命化も行っています。



カソード修理

オングストローム・サイエンス社での正規トレーニングを受けた弊社のエンジニアが、確かな技術と品質でカソード修理を実施いたします。
他社のカソードであっても、オングストローム・サイエンス社製の互換適合部品を用いて最新のマグネトロンカソードにアップグレードすることができる場合があります。
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イオンビームプロセス装置

Veeco　VeecoIBE,IBD

また既存の各社イオンビームエッチング装置、イオンビームスパッタリング装置、ウェット（洗浄・エッチング）装置なども同様に保守・管理を行っています。

部品供給例

各種石英部品、シールド、チャックピンなど

洗浄実施例

グリッド、シールドなど

その他修理

磁気シールの定期的なオーバーホールを承ります。
各種ヒーターや回路基板の修理など