特集

Angstrom Sciences, Inc.がLinkedInにONYX-2 HT 450高温マグネトロンスパッタリ ングカソードのご紹介を掲載しました

2021/07/30

ONYX-2 HT 450高温マグネトロンスパッタリングカソードのご紹介。
写真ではリング状にコンフォーカル配置でCFフランジに取り付けられています。
カソードは金属シールおよびセラミックス製絶縁体を使用し、450°Cまでベークできます。
また、スパッタリング角度を調整するためフレックスアセンブリ、シャッターとクロスコンタミネーションシールドを備え、
他のターゲットからの材料コンタミネーションを最小限に抑えられます。
これらのカソードは低いベース圧力を達成するためにベークアウトを必要とするシステムや、
またはスパッタカソード近くに基板加熱機構を有するようなスパッタリング装置で使用されます。