CATHODE MAINTENANCE
オングストローム・サイエンス社の優れた技術と設計思想は、カソードの修理も容易にしています。高度にモジュール化された各部品は不具合の発生原因の特定と復旧のための交換整備を容易にしています。それぞれの機能部品を補修部品として供給し続けているため、長期に渡っての稼働を可能としています。オングストローム・サイエンス社は市場で一般的に使われている多くの製品も研究しています。 他社のカソードであっても、オングストローム・サイエンス社製の互換適合部品を用いて最新のマグネトロンカソードにアップグレードすることができる場合があります。
TKSが実施する日本国内での修理
確かな技術TKSは高真空プロセス機器メンテナンスの技術集団です。
オングストローム・サイエンス社での正規トレーニングを受けた弊社のエンジニアが、確かな技術と品質で修理を実施いたします。
診断・検査設備
ガウスメーター（マグネトロン磁力測定）、リークディテクター（真空検査）、真空チャンバー、冷却水漏れ検査治具等 必要となる機材はすべて自社所有しています。受け入れ時の不具合診断と出荷前の全品検査を実施し、適切な修理を実施いたします。
製膜レート低下の原因となる不具合です。 冷却水漏れによるマグネットの腐食や冷却水循環不具合による過熱などが多くの原因となりますが、受け入れ診断時のチェックで原因をしっかり特定して対処します。
長期に渡る稼働で徐々に損傷が進んだカソード本体です。廃棄・更新を検討する状態のカソードでも、弊社では修理・再生の実績があります。
